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藍寶石晶圓片(鑽石線切片機) T-8331A
Sapphire.Sic.Gan用
首頁 >> TOYO >> 藍寶石晶圓片>> T-8331A
           
 

 

•TTV 10μm , BOW10μm 高精度加工
•鑽石線使用量15m/片以下   Low running cost
•切斷時間6hr鋼線行走速度1200m/min可達2倍生產性
  
※Φ4” Sapphire

 


 
項目
仕樣
 
加工物
主要加工物材質
Sapphire˙Sic ˙Gan
最大尺寸
150mm
最大長度
300mm
鋼線規格
鋼線裸線徑
0.10mm~0.18mm
鋼線行走
最大鋼線速度
1.200m/min
最大循環數
3cycle/min
床台
行程
220mm
鋼線導輪
導輪直徑×軸數
220mm×2軸
導輪軸間中心距離(水平)
440mm
搖動機能
搖動方式
鋼線導輪2軸搖動
搖動角度
±10度
搖動速度
Max1080∘/min
 
結晶方位調整機能
調整方向
2方向(X,Y)
調整可能範圍
X(水平)±5∘˙Y(垂直)±5∘
結晶方位調整精度
±0.03度(1.8分)
 
鋼線管理室
鋼線儲線量
0.25mm~100km
最大鋼線張力
50N
PULLEY 數
12個
 
切削液關係
切削液槽容量
200L
切削液流量計
質量流量計×1
切削液最大流量
150L/min
機械配置
長 × 寬 × 高
1,700mm×3,575mm×3,170mm
重量
9ton

 

 

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