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切斷設備
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圓盤式平面磨床
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BSM系列(頭尾部切斷設備)
CSN(外徑研磨機)
TSA550(大型切斷設備)
TSA4040V (外徑倒角設備)
TSA50150(溝加工機)
TSG(自動溝槽研磨機)
太陽能電池矽晶加工機
  【多結晶用】
BSM系列(頭尾部切斷設備)
GSZ系列(外徑切方設備)
GHS系列(外徑切斷設備)
TSW系列(平面研磨&C面倒角設備)
TSF系列(全自動端面研磨設備)
  【單結晶用】
BSM系列(頭尾部切斷設備)
GSZ系列(外徑切方設備)
GHS系列(外徑切斷設備)
TSW系列(平面研磨&C面倒角設備)
MCS系列(平面&R面倒角研磨設備)
 
TSA50150(溝加工機)
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加工對象
晶圓棒、玻璃基板、陶瓷、纖維板等
各種難削材、脆性材料
本機採用四角型床台、(長1300m寬500mm)門型構造的大型切斷設備。
玻璃基板、陶瓷、纖維板等、各種難削材及脆性材料的切断、切溝最適合的設備この分野では、すでに数多くの稼動しています。
3軸NC装置(砂輪頭座旋回+砂輪頭座傾斜機構)。
標準裝置 主軸。
採用集中操作方式。
 
 

TSA-50150

床台尺寸(長×寬)
mm
1300×500
電磁吸盤尺寸(長×寬)
mm
1200×500
床台左右(X)行程
mm
1500
床台左右進給速度
mm/min
1~3000
床台左右手輪進給行程
mm/脈波
0.001、0.01、0.1
砂輪頭座前後(Y)行程
mm
740
砂輪頭座前後移動速度
mm/min
1~3000
砂輪頭座前後手輪進給行程
mm/脈波
0.001,0.01,0.1
砂輪頭座上下行程(Z)
mm
300
砂輪頭座中心至床台面距離
mm
最小30、最大300
砂輪頭座上下進給速度
mm/min
1~3000
砂輪頭座上下手輪進給行程
mm/脈波
0.001,0.01,0.1
砂輪頭座旋回角度
0~180
砂輪頭座旋回角度最小刻度
10
砂輪頭座傾斜角度
0~15
砂輪頭座傾斜角度最小刻度
10
機械重量
kg
約5,500
 
 
 
 

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