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BSM系列(頭尾部切斷設備)
GSZ系列(外徑切方設備)
GHS系列(外徑切斷設備)
TSW系列(平面研磨&C面倒角設備)
TSF系列(全自動端面研磨設備)
  【單結晶用】
BSM系列(頭尾部切斷設備)
GSZ系列(外徑切方設備)
GHS系列(外徑切斷設備)
TSW系列(平面研磨&C面倒角設備)
MCS系列(平面&R面倒角研磨設備)
 
ＴＳＦ (全自動端面研磨専用機 )
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TSF4020

本機為方型單晶矽、多晶矽晶棒、端面1面研磨加工之專用研磨加工機(修整端面垂直度用)。 將工件(MAX 5 PSC)置於從送料帶後，從上料到下料採全自動進行加工。
 
 
工件尺寸 （mm）
主軸馬力 （kW）
軸數
TSF4020
斷面：□126～□156.5mm
5.5kW, 4P
1
長度：120～400mm

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